製品情報
中・小型バッチ装置
電子部品の小ロット生産、研究、医療器具製品向け
AP-300/600システム
テーブルトップ型/コンパクトな卓上タイプで研究開発用途に最適
AP-300/600システムは、旧PX-250/500システムでも定評のあった上位互換で且つコンパクトな装置をさらに洗練させ、日本語対応のタッチパネル操作によるユーザーフレンドリーでさらに手軽なプラズマ処理装置となりました。従来より幅広くレシピ条件設定が可能となり、様々なタイプの電極選択により多様なプロセスへの対応を実現しています。
AP-1000システム
オールインワン型/ポンプ内蔵により最小エリアで中量生産まで幅広く対応
AP-1000システムは、旧PX-1000システムとの互換を保ちつつ「オールインワン」システムとしてさらに洗練させ、日本語対応のタッチパネル操作によるユーザーフレンドリーでさらに手軽なプラズマ処理装置となりました。高周波電源は標準の600W以外にオプションの1000Wを選択できます。AP300/600システム同様に、様々なタイプの電極選択により多様なプロセスへの対応を実現しています。
| 仕様/機種 | AP-300 | AP-600 | AP-1000 |
|---|---|---|---|
| 設置面積 | 569W×704H×869D(mm) | 697W×1513H×1127D(mm) | |
| チャンバー内寸 | 267W×267H×465D(mm) | 406W×267H×465D(mm) | 457W×457H×610D(mm) |
| 電極サイズ ・パワード電極寸法 ・グランド電極寸法 |
190W×330D(mm) 229W×330D(mm) |
330W×330D(mm) 368W×330D(mm) |
349W×425D(mm) 384W×425D(mm) |
| 推奨最大処理スロット | 2段 | 2段 | 3段 |
| ＲＦパワー | 300Ｗ | 600Ｗ | 600Ｗ (1000Wはオプション) |
| ガス制御 ＭＦＣ | 標準2台（オプションで最大4台） | ||
| コントローラ | PLC、タッチスクリーンインターフェース | ||
| 真空ポンプ | ロータリーポンプ（オプションでドライポンプへ変更可能） | ||
| 外置き | 本体内蔵 | ||
| 装置重量 | 221kg | 221kg | 485kg |