製品情報
自動化・マテハン対応装置
インライン対応、オートメーション化対応
FlexTRAKシステム
生産形態に合わせ拡張可能なスタンドアローンユニット
FlexTRAKシステムは単独での使用のほか、お客様の生産工程に合わせてマテリアルハンドリングシステムと一体のシステムにカスタムアップすることができるようSMEMA/SECS等の通信プロトコルに対応したユニットとしてお使いいただくことが可能です。最大で300mmウェハーまでの洗浄処理に対応したスペースを持っています。チャンバー内に2倍のスペースを持つFlexTRAK-Sシステムもラインナップしています。
| 仕様/機種 | FlexTRAK | FlexTRAK-S |
|---|---|---|
| 設置面積 | 382W×1595H×1210D(mm) | |
| 有効処理エリア | 305W×305D(mm) | 305W×560D(mm) |
| RFパワー | 600W | 600W (1000Wはオプション) |
| ガス制御 MFC | 標準2台（オプションで最大4台） | |
| コントローラ | PLC、タッチスクリーンインターフェース | |
| 真空ポンプ | ドライポンプ（内蔵） | |
| 装置重量 | 275kg | 315kg |
FlexTRAK-CDシステム
省スペースでカセットtoカセット方式に対応した量産処理装置
FlexTRAK-CDシステムは、最大5つの基板（もしくは部品トレイ）収納カセットから自動で処理ワークを取出し、プラズマ処理後に元の位置に戻す方式を持つ、量産に特化した全自動式のシステムです。省スペースにも関わらず高スループットを実現した類を見ない装置に仕上げました。最大8インチウェハーの全自動処理に対応した「TropoSPHEREシステム」もラインナップしています。
| 仕様/機種 | FlexTRAK-CD | FlexTRAK-CDS |
|---|---|---|
| 設置面積 | 1068W×1600H×1166D(mm) | 1190W×1640H×1320D(mm) |
| 有効処理エリア | 305W×305D(mm) | 305W×550D(mm) |
| RFパワー | 600W | 600Ｗ (1000Wはオプション) |
| ガス制御 MFC | 標準2台（オプションで最大4台） | |
| コントローラ | PLC、タッチスクリーンインターフェース | |
| 同時処理最大基板数 （サイズにより変化） |
5枚 | 10枚 |
| 装置重量 | 430kg | 550kg |