製品情報
大気圧プラズマ処理装置
自動生産ラインへの組込み対応、直前処理向け
Atomflo600システム
インラインへの組み込みからスポット処理まで
Surfx社の大気圧アルゴンプラズマ装置は、低温かつ電気的に中性な反応ガスの均一なビームを生成し、 表面洗浄、活性化、および接着性向上に適しています。そのため、熱に敏感なポリマーや電子部品はプラズマビームにさらされても損傷を受けません。 スパーク、ストリーマ、紫外線(UV)、または静電放電(ESD)を生成しないことも特徴で、作業者にに安全上のリスクを及ぼすこともありません。 また、材料表面の処理は高スループットで行われますので、インライン化することにより電子機器組立、半導体パッケージング、医療機器および医療診断アセンブリに効果的です。

仕様/機種 | Atmflo600 | |
---|---|---|
設置面積 | 440W×640H×230D(mm) | |
重さ | 約43kg | |
電源仕様 | 110-240VAC,50-60Hz,1500W | |
最大RFパワー | 600W ±3% | |
動作圧力範囲 | 40-100 | |
基本ガス | アルゴン | |
プロセスガス | 酸素(O2)、窒素(N2)、水素(H2) |
仕様/機種 | 50mm | 100mm | アルゴンミニビーム |
---|---|---|---|
外観 | ![]() |
![]() |
![]() |
有効処理エリア | W50(mm) | W100(mm) | φ2(mm) |
処理物からの距離 | 2~4mm | ||
最大RFパワー | 300W | 600W | 160W |
その他 | 25mm、75mmもございます | - |
大気圧プラズマの応用例
【実装工程での使用例】
大気圧プラズマの応用事例を動画でご紹介します。
各動画の画面右下に設置している四角ボタンを押して
頂くと動画表示画面を大きくできます。表面処理状況
などもご確認いただけますので、是非ご覧ください。
【ウェハーのクリーニング使用例】 【メディカル機器のクリーニング使用例】