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大気圧プラズマ処理装置

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自動生産ラインへの組込み対応、直前処理向け

Atomflo600システム

Atomflo600

インラインへの組み込みからスポット処理まで

Surfx社の大気圧アルゴンプラズマ装置は、低温かつ電気的に中性な反応ガスの均一なビームを生成し、 表面洗浄、活性化、および接着性向上に適しています。そのため、熱に敏感なポリマーや電子部品はプラズマビームにさらされても損傷を受けません。 スパーク、ストリーマ、紫外線(UV)、または静電放電(ESD)を生成しないことも特徴で、作業者にに安全上のリスクを及ぼすこともありません。 また、材料表面の処理は高スループットで行われますので、インライン化することにより電子機器組立、半導体パッケージング、医療機器および医療診断アセンブリに効果的です。


leadfleam

minibeam

Atomflo600メインユニット仕様表
仕様/機種 Atmflo600
設置面積 440W×640H×230D(mm)
重さ 約43kg
電源仕様 110-240VAC,50-60Hz,1500W
最大RFパワー 600W ±3%
動作圧力範囲 40-100
基本ガス アルゴン
プロセスガス 酸素(O2)、窒素(N2)、水素(H2)
Atomflo600 付け替えプラズマヘッド仕様表
仕様/機種 50mm 100mm アルゴンミニビーム
外観 50mmhead 100mmhead argon-minibeam
有効処理エリア W50(mm) W100(mm) φ2(mm)
処理物からの距離 2~4mm
最大RFパワー 300W 600W 160W
その他 25mm、75mmもございます -

Surfx社装置資料は【こちら
アルゴン・ミニビーム資料は【こちら
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