コンポーネント プラズマ処理装置 | S&SC 株式会社日放電子

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ADVANCED ENERGY社製品

アドバンスドエナジー社製電源

株式会社日放電子はアドバンスドエナジージャパン株式会社の正規取扱店です。

アドバンスドエナジー社製電源

スパッタリングやプラズマCVD・ドライエッチングなどのプラズマプロセスシーンに不可欠な高電圧電源類を多数、揃えています。

DCからRFまで、様々な出力仕様をラインナップ、コンパクト設計ながらハイパワーを可能にしています。
半導体・フラットパネル・記録メディア・電子基板など、様々なデバイス製造分野に常に最新の技術を提供します。

その他の製品
マスフローコントローラー
アドバンスドエナジージャパン株式会社
  • 光ファイバー式放射温度計
  • リモートプラズマソース

日立金属社製品

マスフローコントローラ AERAシリーズ/SAMシリーズ

株式会社日放電子は日立金属株式会社の正規取扱店です。

マスフローコントローラ AERAシリーズ/SAMシリーズ

半導体や電子デバイス分野などのハイテク産業から各種大型プラント事業まで、多様なフィールドで採用されています。高精度な流体制御性能、高い信頼性でプロセスガスの安定供給を実現します。液化ガスに対応したハイテンプ仕様も充実、デジタル制御タイプでは最新技術のマルチガス・マルチレンジシステムを搭載したモデルも揃えております。

まずはご相談ください

株式会社日放電子 営業部
TEL:044-989-9129

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