製品情報
プラズマ処理装置
日放電子では、用途に合わせたさまざまなタイプのプラズマ処理装置を用意しております。ここでご紹介しますのはラインナップの一例です。用途に合わせて特注対応しますので、お気軽にご相談ください。
PCBシリーズ PCB2800(大型平板プラズマ処理装置)
特長
- 大型基板対応（610mmｘ910mm）
- 大量生産用・基板温度制御機構
- ラック＆カートシステム 標準装備
- 最大14列モデルまでラインアップ
用途
- プリント基板のデスミア／クリーニング
NVC-Rシリーズ NVC-R1500
特長
- ロール状基材の連続処理
- 電極冷却機構・ 最大1,500mm幅まで対応
- 特注対応可能・ PCコントロール
用途
- プリント基板のデスミア／クリーニング
NVC-Rシリーズ NVC-R500
特長
- ロール状基材の連続処理
- 電極冷却機構・ 最大600mm幅まで対応
- 特注対応可能・ PCコントロール
用途
- ポリイミドフィルムのスパッタ/接着/前処理
バッチ式プラズマ処理システム AP-1000
特長
- 筐体内にポンプ・チャンバ・電源内蔵
- チャンバの内部寸法は457W×457H×610D(mm)
- フルフロントアクセスで操作性UP
- プラズマモードは３種類で切替可能
用途
- バッチ式プラズマクリーナー（大型）
インライン対応プラズマ洗浄装置 FlexTRAK
特長
- インライン対応プラズマ処理
- 様々な種類の基板供給機に対応
- プラズマモード二種切替え可能
- IFP（イオンフリープラズマ）対応モデル有
用途
- ウェハ／基板の表面洗浄
小型パッチ式プラズマ処理システム AP-600・AP-300
特長
- ポンプ･電源別置きでコンパクトな卓上型
- 基本性能はAP-1000譲り
- プラズマモードは三種類切替可能
- PX-250・PX-500の後継モデル
用途
- バッチ式プラズマクリーナー（中小型）